高機能トライボ表面プロセス部会・第26回例会
高機能トライボ表面やそれを創成するためのプロセス革新に向けた議論の場として，今回は「CVD・ALD」をキーワードとしたプログラムで開催します。
| 共 催 | (一社)表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会，CVD研究会，
国立大学法人東海国立大学機構 岐阜大学 工学部附属プラズマ応用研究センター |
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| 日 時 | 2025年5月9日（金）
［研究会］ 13：00～17：00（12：45 受付開始） ［情報交換会］17：30～19：30（貴久屋） |
| 会 場 | 岐阜大学 TOIC棟（OKB岐阜大学プラザ1階）
https://toic.aip.thers.ac.jp/gifu/facility/ （岐阜市柳戸1-1 岐阜大学構内 正門を入りすぐ右） |
| 講 演 |
13：00～ 開会の挨拶
13：05～13：55
スーパーコンピュータを活用したダイヤモンドライクカーボンによる 超低摩擦・超低摩耗実現のための計算科学シミュレーション 東北大学 金属材料研究所 久保 百司 氏
13：55～14：45
高活性原料を利用した原子層堆積法による薄膜形成技術の検討・開発（仮） 大陽日酸株式会社 清水 秀治 氏
14：45～15：00 休憩
15：00～15：50
サムコのALDプロセス開発（Thermal ALDとPEALD）（仮） サムコ株式会社 古谷 直大 氏
15：50～16：40
工具のCVD膜開発（仮） 三菱マテリアル株式会社 講演者調整中
16：40～16：45 閉会の挨拶，名刺交換
＜以下，情報交換会のご参加者のみ＞
17：15～ バス移動（情報交換会場のマイクロバスにて，岐大バスロータリー発）
17：30～19：30 情報交換会
19：30～ バス移動（同バスにて岐阜駅まで）
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| 定 員 | 50名 |
| 研究会参加費 | R7年部会員となるための参加費は，企業：1万円，個人：3千円でございます。原則，個人の扱いは大学・研究機関の方のみとさせて頂きます。R７年年部会員は年内の例会を無料にてご聴講いただけます。非会員の方の参加も歓迎しますが，聴講料として6千円を頂戴いたします。部会員の代理の方はご本人と同様に取り扱わせて頂きます。部会員のお連れ様からは，１人あたり同伴者聴講料として2千円を頂戴いたします。） |
| 支払方法 |
参加費は期限までにお振込み（振込手数料はご本人負担でお願い致します）をお願い致します。
振込先：ゆうちょ銀行 二一八（ニイチハチ）
店番 218 普通 0136473 コウキノウトライボヒョウメンプロセスブカイ 振込期限：5月2日（金）
※領収書の宛名指定は，web申込フォーム【質問・連絡等】にご記載ください。
※振込確認後，メールにてPDF送付させていただきます。（例会後になる場合があります）
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| 情報交換会参加費 （消費税含む） | 現地受付にて，6千円を現金で頂戴します。領収書は，現地で情報交換会参加費お支払いと引き換えに手渡しさせていただきます。 |
| 申込方法 | 下記フォームより4月21日（月）までにお申込みください。
https://forms.gle/6WeeAsccwfqDfvfd9 |
| 問 合 先 | (一社)表面技術協会「高機能トライボ表面プロセス部会」事務局 E-mail：，TEL&FAX：058-293-2511 |