表面技術協会関東支部：神奈川県立産業技術総合研究所 合同講演･見学会
エレクトロニクス・表面技術フォーラム

東京都立産業技術センターからは，電子線リソグラフィで作製したナノギャップ電極の応用事例と，フォトリソグラフィ技術を利用した高集光効率のマイクロレンズアレイやマイクロメートルスケールで集積化したバンドパスフィルターの開発事例を紹介します。また，KISTECからは，電子線リソグラフィを用いたナノインプリント用金型の作製の事例を紹介します。