関西支部：令和3年度第2回表面物性研究会

［概要］PBIID & PIAD法はイオン注入とCVD法の併用により各種機能に特化したDLC膜を形成でき，さらに，複雑微細形状，パイプ内面および深堀金型といった様々な形状の製品に成膜も可能です。本講演では，PBIID & PIAD法の特徴と成膜方法，適用事例，最近の研究開発例をご紹介して頂くとともに，ドライコーティング分野の現状と将来についても解説して頂きます。

［概要］ドライコーティング膜は真空プラズマでの反応を経て形成される膜であり，真空プラズマを深く理解することは膜の高機能化や品質安定性を考えるうえで極めて重要とされています。本講演では，プラズマの基礎知識，プラズマ診断と解析例についてご解説いただきます。そして，HiPIMS（高電力インパルススパッタリング）を用いたDLC成膜のプラズマ診断および膜質評価に関する研究，HiPIMSの最新動向についてご紹介していただきます。