高機能トライボ表面プロセス部会 第14回例会
「HiPIMS技術とプラズマ診断」
| 主 催 | (一社)表面技術協会・高機能トライボ表面プロセス部会 |
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| 日 時 | 2019年7月5日（金）
［研究会］13：00～17：20（12：45受付開始） ［懇親会］17：30～19：30 |
| 会 場 |
長良川うかいミュージアム 会議室
〒502-0071 岐阜県岐阜市長良51番地2，TEL：058-210-1555 https://www.ukaimuseum.jp/access/index.html |
| 研究会参加費 | 部会員の方は無料にてご聴講いただけます。部会の年会費は、企業：１万円，個人：3千円でございます。原則，個人会員は大学・研究機関の方とさせて頂きます。その場でご入会いただける場合，ご入金と引き換えに領収書をお渡し致します。非会員の企業の方の参加も歓迎しますが，聴講料として6千円を頂戴いたします。 |
| 懇親会参加費 | 5,000円 |
| 申込締切 | 6月27日（木） |
| 申込方法 | 参加希望の方は「高機能トライボ表面プロセス部会 第14回例会・懇親会（2019/7/5）への出欠」と明記し，研究会への出席者人数，懇親会への出席者人数，所属機関名，代表者名，E-mail，Fax番号，電話番号，お連れの方がいる場合はその方の氏名を記載のうえ，下記までE-mailまたはFaxにてお申し込みください。 |
| 申 込 先 問 合 先 | 「高機能トライボ表面プロセス部会」事務局 E-mail：tribo.process@gmail.com FAX：058-293-2511 |
プログラム
| 13：30～13：35 |
開会の挨拶
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| 13：35～14：35 |
［英語講演］
High-Power Impulse Magnetron Sputtering for thin film deposition: from the beginning to the most recent advances ベルギー Mons大学 Stephanos Konstantinidis
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| 14：35～15：20 |
HiPIMSを用いたDLC成膜プロセスにおけるプラズマ診断と膜質評価
～低摩擦化を目指して～ 名城大学 理工学部 太田 貴之
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| 15：20～15：30 |
休憩
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| 15：30～16：30 |
［英語講演］
Toward an in-depth diagnostics of HiPIMS discharges by optical spectroscopy ベルギー Mons大学 Nikolay Britun
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| 16：30～17：15 |
反応性HiPIMSにおける酸素分圧制御技術による機能性酸化物薄膜の形成
～ ベルギーMons大学との共同研究 ～ 首都大学東京 システムデザイン学部 清水 徹英
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| 17：15～17：20 |
全体討論と閉会の挨拶
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| 17：30～19：30 |
懇親会（会場：鵜飼ミュージアムカフェテラス）
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