第100回金属のアノード酸化皮膜の機能化部会（ARS）例会

代表的半導体であるシリコンのアノード酸化は，多孔質シリコンの室温可視発光の発見で一躍注目を浴びたのち，光学フィルタや微細構造形成のテンプレート，ドラッグデリバリー用の担体などに応用範囲を拡大しながら精力的に研究が進められてきました。近年では，金属を触媒とした半導体のエッチングも飛躍的な研究の進歩がみられ，新たな技術として確立されつつあります。また，化合物半導体のアノード酸化にも新たな展開が見られます。このような背景のもと，本部会における初の試みとして半導体のアノード酸化をテーマに例会を企画いたしました。今回は４名の講師から，化合物半導体のアノードエッチング，半導体の金属触媒エッチングと研磨，シリコン陽極酸化における応力制御と微細構造形成，太陽電池用シリコン加工についてご紹介いただき，半導体のアノード酸化とその応用の最先端へみなさまを誘います。アルミニウムやチタンなどの金属の場合とは趣を異にする，新たな視点でアノード酸化を見直す絶好の機会となるはずです。多数のご参加をお待ちしております。

合わせて，ミキサーは講師や参加者との情報交換・交流の場です。どうぞ，ご参加ください。