関西支部：平成30年度第1回表面物性研究会
| 主 催 | (一社)表面技術協会・関西支部 |
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| 協 賛 | (一社)エレクトロニクス実装学会 関西支部，近畿アルミニウム表面処理研究会，(公社)電気化学会 関西支部，電気鍍金研究会，(公社)日本材料学会 関西支部，(公社)日本表面真空学会 関西支部，AMPIドライコーティング研究会（予定・依頼中含む） |
| 日 時 | 平成30年6月20日（水）13：30～17：00 |
| 会 場 | (地独)大阪産業技術研究所 森之宮センター 4階 小講堂（大阪市城東区森之宮1-6-50）
http://www.omtri.or.jp/map/ |
| 参 加 費 | 表協会員，協賛団体会員：3,000円，一般：5,000円，学生：1,000円（テキスト代･消費税含む） |
| 申込締切 | 6月11日（月） |
| 定 員 | 60名（先着順，定員に達し次第締切） |
| 申込方法 | 参加ご希望の方は，支部ホームページ（http://kansai.sfj.or.jp/gyoji/busei/index.html）よりお申込み下さい。あるいは，FAXまたはメールに「(一社)表面技術協会 関西支部 表面物性研究会 参加希望」と題記し，氏名・勤務先・所在地・電話番号・所属学会（表協・協賛団体）を明記の上，下記宛までお申込みください。参加費は当日受付でお支払い下さい。 |
| 申 込 先 | (一社)表面技術協会 関西支部 事務局 担当：石川 〒606-0805 京都市左京区下鴨森本町15 Tel：075-781-1107，Fax：075-791-7659，E-mail：kansai-office@sfj.or.jp |
プログラム
| 13：30～15：00 |
極限の転写精度を目指した電鋳法の開発と回転楕円X線集光ミラー作製への応用
東京大学 三村 秀和
［概要］電鋳法は古くから工業に必要不可欠技術であるが，転写精度に関する研究報告は大変少ない。私は超精密加工と超精密計測を専門としていたが，この10年，極限の転写精度を目指した電鋳法の開発にも取り組んでいる。室温と無攪拌という極めて単純なNi電析条件により，回転楕円X線集光ミラー作製において100nmレベルの転写精度を実現した。本発表では，開発経緯と考え方，開発した電鋳法の概要と転写精度について説明する。
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| 15：20～16：50 |
マイクロ・ナノ構造創成技術
豊橋技術科学大学 柴田 隆行
［概要］本講演では，MEMS技術によって創製した特殊な工具を用いた新規なマイクロ・ナノ加工技術について紹介します。具体的には，（1）Ni電鋳金型を用いたマイクロインプリント技術，（2）軟質のシリコーン樹脂製のスタンプを用いてポリマー材料を基板表面に直接転写して所望のパターニングを行うダイレクトインプリントリソグラフィ技術，（3）中空構造を有するマイクロニードルアレイ工具を用いたマイクロ穴加工技術，（4）マスクレスでの微細めっきパターン創成技術，（5）触媒反応の局所空間制御による水中でのナノ化学加工技術などについて紹介します。
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