材料機能ドライプロセス部会　第90回例会

【概要】超ナノ微結晶ダイヤモンド/アモルファスカーボン混相（UNCD/a-C）膜は，10 nm以下の無数のダイヤモンドナノ結晶がアモルファスカーボンマトリックス中に内包された構造をとる。膜中に多量の粒界を含み，それを起源とすると考えられる。大きな光吸収の発現や，ドーピングによる電気伝導度の増加を伴った伝導型制御が可能であることが，大きな特徴である．紫外域と可視域で明白な光電流が観測され，深紫外線センサーおよび太陽電池への応用が期待されている。薄膜創製から素子作製・評価までの取り組みを紹介する。

【概要】産総研では圧電体である窒化アルミニウム（AlN）に着目し，量産車用燃焼圧センサの研究開発を行っている。この研究開発において，結晶配向性および分極配向性，感度の三つの課題が生じてきた。本発表では，特にこの三つの課題を克服する過程で得られた，新しい知見に関して紹介する。

【概要】従来のめっき除去技術としては，塩酸，硫酸などの劇薬を使用したウェットプロセスが利用されているが，環境負荷が大きい，廃液処理コストが甚大などの問題があった。本研究では，プラズマドライプロセスを用いたソーワイヤ表面のブラスめっき高速除去技術の開発した。

【概要】当社はDLC膜コーティングサービスを主な業務としております。処理物サイズ1.5mの大面積が可能で，また立体物へのコーティングも得意としております。当社のコーティング事業について紹介いたします。