材料機能ドライプロセス部会および関西支部表面物性研究会 合同研究会

プラズマプロセスは，大規模集積回路や太陽電池をはじめ全産業を支える基幹科学技術である。最近では，多様な表面処理を大気圧下で高速に実現できる新しいプラズマ技術も開発されている。本講演では，先進プラズマプロセスの基礎から応用を解説し，その表面技術へのイノベーションを紹介する。

近年タッチパネルの普及やフィルムを基板にしたディスプレイや太陽電池の開発のニュースが流れる中，ロールツーロール成膜への興味が高まっている。本講演ではロールツーロール成膜手法の概要紹介に続き，弊社で取組を中心に，透明導電膜形成とバリア膜の形成技術・装置の紹介を行う。

RFプラズマアシストスパッタリング法によるガラス基板上GZO透明導電膜の比抵抗分布，耐湿熱性改善について述べるとともに，PETフィルム上GZO膜の有機バッファー層による耐湿熱性改善，およびRoll to Rollでの長尺フィルムの作製を試みた結果について紹介する。