夏季実習セミナー(U)

ドライプロセスの基礎と薄膜作製

(一社)表面技術協会
企画/実行 関東支部,材料機能ドライプロセス部会
平成23年8月4日(木)〜5日(金)
[4日]13:00〜17:00,[5日]10:00〜16:30
千葉工業大学津田沼キャンパス
[交通]JR総武線「津田沼駅」下車,駅前南口
[URL] http://www.it-chiba.ac.jp/institute/access/index.html
[講義]5号館6階大会議室,[実習]工作センターおよび新一号館
参加
講義・実習参加コース 会員 25,000円 一般 35,000円 学生 10,000円
講義のみ参加コース 会員 10,000円 一般 20,000円 学生  3,000円
(消費税含む,協賛学会会員は会員価格でご参加いただけます。)
講義・実習参加コース 50名(先着順)
講義のみ参加コース 50名(先着順)
申込方法 参加申込書(XLS)または参加申込書(PDF)に必要事項をご記入のうえ,事務局宛に電子メール,Fax,郵送のいずれかの方法にてご送付ください。
参加費のお支払いには,郵便振替・銀行振込・現金書留をご利用いただけますが,事務処理上,郵便振替(振込用紙は郵便局に備え付けのものをご利用ください。)でのお支払いをご推奨いたします。なお,請求書が必要な方は参加申込書をご送付の際,その旨を記してください。
団体正会員の特典
講義・実習参加コースに参加の場合
1口につき1名が参加費22,000円で参加できます。
講義のみ参加コースに参加の場合
1口につき1名が参加費9,000円で参加できます。
詳細につきましては,団体正会員の連絡担当者宛に案内状および「団体正会員優待カード」をお送りいたしましたので,社内でご調整のうえ,ご利用ください。
振込 郵便振替口座:00130-2-123987 一般社団法人表面技術協会
銀行振込口座:三菱東京UFJ銀行 室町支店 普通 No.360637 一般社団法人表面技術協会
※申込後の取り消しや不参加の場合にも参加費の払い戻しはいたしません。その場合には,代理の方のご出席をお願いいたします。
申込 (一社)表面技術協会 夏季実習セミナー(U)係
〒101-0041 東京都千代田区神田須田町2-7-1
TEL:03-3252-3286,FAX:03-3252-3288,E-mail:sfj@ce.mbn.or.jp
スケジュール
講義:8月4日(木) 13:00〜17:00
13:00〜13:10 挨拶 関東支部慶一
13:10〜14:10 ドライプロセスによる表面設計の考え方 名古屋大
14:10〜15:10 ドライプロセス成膜過程の基礎過程と応用 (有)アーステッ啓安
15:10〜15:30 休憩
15:30〜16:15 トピックス1:ナノ・マイクロ加工技術 日本工業大雅人
16:15〜17:00 トピックス2:ドライプロセスにおける真空環境の影響 成蹊大武雄
17:30〜 技術交流会(別途参加費:2,000円)
実習:8月5日(金) 10:00〜16:30
10:00〜11:00 実習の概略説明と注意事項
11:00〜16:00 実習とともに,各種物性評価などについても解説・体験していただきます。
実習A プラズマCVDによるDLC薄膜作製 [千葉工大 寺島研究室]
実習B プラズマCVDによるダイヤモンド薄膜作製 [千葉工大 坂本研究室]
実習C スパッタリングによる窒化物薄膜作製 [千葉工大 井上研究室]
16:00〜16:30 質疑応答